旷世科技(东莞)有限公司

产品详情
晶圆外观检测


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晶圆在生产过程中,由于人工、设备等问题,造成了晶圆出现开裂、晶圆错位、切割不完全、刮伤、晶圆腐蚀、脏污等多种缺陷,人工检测误差较大,所以采用视觉检测可以有效提高检测效率和检测准确率。


系统特点:

由于该产品反光性差,成像难稳定,传统视觉系判断有困难,所以采用深度学习系统,可以提高系统稳定性。

高速、高分辨率,高灵敏度面阵CCD采图,双工位布局,提高检测效率;

采用大功率LED光源,亮度高、能耗低,寿命长;

采用深度学习系统,保证检测速度、精度及系统稳定性;


系统参数

检测精度:0.03mm

检测效率:500pcs/h


测试图像:

    晶圆发白1.png             晶圆发白2.png

    晶圆划伤1.png                晶圆划伤2.jpg